Ülikõrgvaakumsüsteemid

Lühikirjeldus:

Ülikõrge vaakumseadmete komplekte kasutatakse laialdaselt teadusuuringutes ja tootmises materjaliteaduse, optika, füüsika, kosmoseteaduse katsete ja täppistöötluse valdkonnas.

1. Tehnilised näitajad

1. Süsteemi vaakumaste: ülim vaakumaste<2x10-8pa, and the vacuum degree is better than 6x10-8pa when the manipulator is driven by the magnetic rod.

2. Vaakumkamber: kasutage sfäärilist roostevabast terasest konstruktsiooni, 316L, siseläbimõõt: 300mm.

Süsteemi lekke määr<1x10-7pPa·L/S. 3.

4. Vaakumkamber: UFO-kujuline (UFO) roostevaba teraskonstruktsioon, 316L, välismõõdud: 800x360mm.

5. Sirge kamber: sfääriline roostevabast terasest konstruktsioon, 316L, suurus: siseläbimõõt SD300mm.

6. Gaasisüsteem: 6.1. Tahke gaasikambril, madala temperatuuriga infrapunakambril ja ESEM-il on gaasivarustusnõuded ning iga reaktsioonikambri gaasivarustuse tagamiseks on vaja ühtset gaasivarustussüsteemi (mis suudab realiseerida kolme tüüpi gaaside konfiguratsiooni). Sisselaske voolukiirus võib olla 0~50 SC.6.2. Vaakumkambriga ühendatud klapid on kõik käibemaksuga ülikõrge vaakumiga täismetallist käsitsi nurkventiilid.

7. Iga alamsüsteem võtab kasutusele sõltumatu vaakumpumbasüsteemi, mis ei sega üksteist. Sõltumatut tugistendit saab igal ajal liigutada ja eraldada.

2. Seadmete koostis

See süsteem on mitmekambrilise struktuuriga ülikõrge vaakumsüsteem. Seadmed koosnevad peamiselt kokkupandavast aardesüsteemist, UFO vaakumkambrisüsteemist, gaasi-tahke reaktsioonikambri süsteemist, proovide ülekande- ja üleandmissüsteemist, D-vaatlussüsteemist, gaasisüsteemist, elektrilisest juhtimisest ja arvutijuhtimisest. süsteemid, abisüsteemid jne.

Kuum tags: ülikõrgvaakumsüsteemid